| 摘要 |
<p>【課題】本発明は、削り加工における時間経過に従って生じるドリフト量をその原因を分離して定量化できる削り加工位置ドリフト量測定方法を提供する。【解決手段】本発明の削り加工位置ドリフト量測定方法は、削り工具を直交２軸の駆動機構で駆動して削り加工できる削り加工装置における前記削り工具の位置のドリフト量を測定する方法であって、前記２軸の方向のうちの第１方向に沿って前記削り工具を移動させて前記第１方向に沿って被検物を削り加工する削り加工工程Ｓ４と、前記第１方向と直交する第２方向に所定の距離だけ前記削り工具を移動させる移動工程Ｓ３と、前記被検物に削り加工工程Ｓ４で形成された形状に関する所定の寸法を測定する測定工程Ｓ７とを備え、削り加工工程Ｓ４は、複数回繰り返され、次回の削り加工工程Ｓ４は、今回の削り加工工程Ｓ４の終了から所定の時間の経過後に、移動工程Ｓ３を実施した後に、実施される。【選択図】図２</p> |
