| 发明名称 | 用于EUV光源的具有预脉冲的主振荡器-功率放大器驱动激光器 | ||
| 摘要 | 本文描述一种设备，所述设备可以包括：光学放大器，所述光学放大器具有包括波长λ<sub>1</sub>和λ<sub>2</sub>的增益带，其中λ<sub>1</sub>≠λ<sub>2</sub>；预脉冲种子激光器，所述预脉冲种子激光器具有把预脉冲输出调谐到波长λ<sub>1</sub>的调谐模块；主脉冲种子激光器，所述主脉冲种子激光器产生波长λ<sub>2</sub>的激光输出；以及光束组合器，用于通过光学放大器在公共路径上引导预脉冲输出和主脉冲输出。 | ||
| 申请公布号 | CN102971922B | 申请公布日期 | 2015.02.18 |
| 申请号 | CN201180030300.9 | 申请日期 | 2011.05.24 |
| 申请人 | ASML荷兰股份有限公司 | 发明人 | K-C·侯;R·L·桑德斯特伦;W·N·帕特洛;D·J·W·布朗;I·V·福缅科夫 |
| 分类号 | H01S3/00(2006.01)I | 主分类号 | H01S3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 刘佳 |
| 主权项 | 一种设备，包括：光学放大器，所述光学放大器具有包括波长λ<sub>1</sub>和λ<sub>2</sub>的增益带，其中λ<sub>1</sub>≠λ<sub>2</sub>；预脉冲种子激光器，所述预脉冲种子激光器具有用于把预脉冲输出调谐到波长λ<sub>1</sub>的调谐模块；主脉冲种子激光器，所述主脉冲种子激光器产生具有波长λ<sub>2</sub>的激光输出；以及光束组合器，用于在公共路径上引导预脉冲输出和主脉冲输出穿过光学放大器。 | ||
| 地址 | 荷兰维德霍恩 | ||