发明名称 炭化タンタル被覆炭素材料の製造方法
摘要 On the surface of a carbon substrate 41, a tantalum carbide coating film 42 is formed to coat the carbon substrate 41. The tantalum carbide coating film 42 has a maximum peak value of at least 80 degrees in an orientation angle of a (311) plane corresponding to a diffraction peak of tantalum carbide as determined by X-ray diffraction.
申请公布号 JP5666899(B2) 申请公布日期 2015.02.12
申请号 JP20100294082 申请日期 2010.12.28
申请人 東洋炭素株式会社 发明人 近藤 美華
分类号 C23C16/32 主分类号 C23C16/32
代理机构 代理人
主权项
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