| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Magnetronanordnung mit einem rotierenden Rohrtarget, einer im Innern des Rohrtargets an einem Lanzenrohr befestigten Magnetanordnung und einer Stützeinrichtung, die ein Gehäuse mit einer drehbar gelagerten Antriebswelle umfasst, die außerhalb des Gehäuses zur Verbindung mit dem Rohrtarget ausgebildet ist, wobei innerhalb des Gehäuses der Rotor eines Elektromotors drehfest mit der Antriebswelle und der Stator des Elektromotors drehfest mit dem Gehäuse verbunden ist, wobei die Antriebswelle als Hohlwelle ausgeführt ist, das Lanzenrohr im Innern der Antriebswelle angeordnet und mit einem ersten Kühlmittelanschluss verbunden ist und der Raum zwischen der Außenseite des Lanzenrohrs und der Innenseite der Hohlwelle mit einem zweiten Kühlmittelanschluss verbunden ist. |
