发明名称 经由一图模罩进行离子蚀刻之方法
摘要
申请公布号 TW010893 申请公布日期 1972.06.01
申请号 TW019347 申请日期 1971.10.13
申请人 西方电器公司 国 发明人 EDWARD GUERRANT SPENCER;PAUL HERMAN SCHMIDT
分类号 C23B 主分类号 C23B
代理机构 代理人 林敏生 台北巿南京东路二段一二五号七楼伟成第一大楼
主权项
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