高精密磁悬浮主动减震设备

摘要

本发明提供了一种高精密磁悬浮主动减震设备，用以实现工件台的减震，所述高精密磁悬浮主动减震设备包括磁浮减震器、减震框架、测量模块、执行模块和控制器系统，所述工件台位于所述减震框架上，所述减震框架通过所述磁浮减震器实现支撑和悬浮减震，所述磁浮减震器至少包括两层哈尔贝克磁阵列，且通过所述两层哈尔贝克磁阵列实现所述减震框架的支撑和悬浮减震，所述测量模块和执行模块均与所述减震框架固定连接，所述控制器系统分别与所述测量模块和执行模块连接。由于哈尔贝克（Halbach）磁阵列的单边磁密为传统NS阵列的倍，在等磁能积情况下实现更大的负载能力，并且单边磁场特性最大化利用磁能积，同时有效减小了NS阵列的磁场泄露的干扰问题。

主权项

一种高精密磁悬浮主动减震设备，用以实现工件台的减震，其特征在于：包括磁浮减震器、减震框架、测量模块、执行模块和控制器系统，所述工件台位于所述减震框架上，所述减震框架通过所述磁浮减震器实现支撑和悬浮减震，所述磁浮减震器至少包括两层哈尔贝克磁阵列，且通过所述两层哈尔贝克磁阵列实现所述减震框架的支撑和悬浮减震，所述测量模块和执行模块均与所述减震框架固定连接，所述控制器系统分别与所述测量模块和执行模块连接。