LTCC叠片方法

摘要

本发明公开一种LTCC叠片方法，利用四角带有定位销钉的叠片台对四角带有能够分别套设在定位销钉上的定位孔的生瓷片进行叠片，根据生瓷片的稳定特性选择是否需要使用叠片胶，按照顶层在下，依次向上叠加次层直至底层的顺序进行叠片，每层生瓷片脱膜时，将其上的聚脂膜的一角挑离生瓷片，保持生瓷片的位置，拉着聚脂膜的这一角沿平行于生瓷片的表面的方向向对角的方向将其撕下。针对不同稳定特性的生瓷片选用使用叠片胶和不使用叠片胶的方法进行叠片，层间对准精度大幅度提高，可以提升至30μm以内；解决了生瓷片因收缩变形产生的叠片定位不准，可以满足微波产品的要求；解决了含腔体的LTCC基板腔体的精度问题。

主权项

一种LTCC叠片方法，应用在Dupont 951 PT/943/9K7或FerroA6M生瓷体系中，其利用四角带有定位销钉的叠片台进行叠片，其特征在于：步骤包括：    a、在叠片台上放置一层聚酯膜，且其光面向上，    b、将四角带有定位孔的顶层生瓷片放置在步骤a中的聚酯膜上，使该顶层生瓷片的聚酯膜向上，并确保所述的顶层生瓷片的定位孔一一对应套在所述的定位销钉上，    c、将顶层生瓷片上的聚酯膜的一角挑离其所在的定位销钉，顶层生瓷片保留在该定位销钉上，    d、保持顶层生瓷片的位置，沿平行于生瓷面表面的方向、向对角方向撕下其上的聚酯膜，    e、将四角带有定位孔的次层生瓷片以其聚酯膜向上的方式对齐放置于步骤d中得到的顶层生瓷片上，且使次层生瓷片上的定位孔一一对应套在所述的定位销钉中，    f、重复步骤c、d的动作将所述的次层生瓷片上的聚酯膜撕下，g、重复步骤e、f，将剩余其他四角带有定位孔的生瓷片一一按序进行叠片；其中所述定位销钉用于使所有生瓷片不产生收缩。