发明名称 固态成像元件及其制造方法与电子装置
摘要
申请公布号 TWI473259 申请公布日期 2015.02.11
申请号 TW099139120 申请日期 2010.11.12
申请人 新力股份有限公司 发明人 坂野頼人;马渊圭司
分类号 H01L27/146 主分类号 H01L27/146
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种固态成像元件,其包括:一基板,其具有相对地面向之第一及第二表面;在该基板之一像素区域中之复数个像素,每一像素在该基板中具有一对应的光电转换单元且其经组态以接收光并产生信号电荷;及用于每一像素之像素电晶体,其等经组态以将由该光电转换单元产生之该信号电荷作为一电信号输出,该等像素电晶体中之每一者系提供于与该基板之该第一表面相对之该基板之该第二表面上,其中该基板之该第一表面系为一光接收表面,其中,该等像素电晶体中之每一者包含至少一传送电晶体,其将在该对应的像素之该光电转换单元中产生之该信号电荷传送至一浮动扩散部,且该传送电晶体之一闸极电极系以使得具有一闸极绝缘膜之情形下自该浮动扩散部延伸至该闸极电极与该第二表面之间具有该闸极绝缘膜之该光电转换单元上之此一方式而形成,其中该闸极电极之一第一部份包含一第一传导类型之一杂质,且其中该闸极电极之一第二部份包含一第二传导类型之一杂质。
地址 日本