双重金属闸极角隅

主权项

一种场效电晶体，包含：一基板；一半导体本体于该基板上，该半导体本体包含一通道区，具有一侧壁、一中央部及一边缘部于该侧壁与该中央部之间；一隔离区于该基板上，定位成侧向邻近该侧壁；以及一闸极结构，横越该通道区之一宽度覆盖该中央部与该边缘部，且更侧向延伸超过该侧壁到该隔离区上，该闸极结构包含一第一区段在该中央部上方以及一第二区段在该边缘部及该侧壁上方，该第一区段具有一单一闸介电层紧邻于该中央部的上方且更具有一第一闸导体层紧邻于该单一闸介电层上方，该第二区段具有一个或多个堆叠闸介电层紧邻于该边缘部的上方且侧向延伸覆盖该侧壁，该一个或多个堆叠闸介电层包含一上闸介电层更侧向延伸至该第一闸导体层的一顶表面上，该第二区段更具有一第二闸导体层的一部分紧邻于该一个或多个堆叠闸介电层的上方以使该第一区段具有一第一有效功函数，以及该第二区段具有与该第一有效功函数不同之一第二有效功函数，以及该第一闸导体层及该第二闸导体层的至少其中之一包含一金属。