发明名称 感应线圈、等离子产生装置及等离子产生方法
摘要
申请公布号 TWI473539 申请公布日期 2015.02.11
申请号 TW097105262 申请日期 2008.02.15
申请人 兰姆研究公司 发明人 毕诺格拉朵夫 乔治;梅纳格瑞斯维力 维拉廸米尔;岛村哲彦;中村将之
分类号 H05H1/46 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人 许峻荣 新竹市民族路37号10楼
主权项 一种使用能卷绕于(假设)圆柱表面而形成之感应线圈的感应型等离子产生方法,该感应线圈,系分别由初绕与绕毕而成之第一端子与第二端子、与将该等第一端子与第二端子连接而形成线圈部分的电线所形成,由第一端子侧卷绕之电线与从第二端子侧卷绕之电线,沿着该(假设)圆柱表面能形成对称的位置而卷绕,相互在半周之位置以绝缘状态交叉,再次沿着该(假设)圆柱表面能形成对称的位置而被卷绕,将此反覆后形成能连接,将电源连接于第一端子并供应高频率电力,同时将可变电容器连接于第二端子,透过该可变电容器的作用使感应线圈的两端成为同电位,并且使该电线之中间点的电位大致为0,藉以利用电容电流使等离子的电位成为对称,并且供应于该感应线圈之高频率电力,藉以使该感应线圈之内侧产生磁场,藉由该磁场的作用产生等离子。
地址 美国