发明名称 | 翻转装置 | ||
摘要 | 本发明提供一种能够稳定地使基板翻转的翻转装置。支持部件(4)以第一保持面(21a)与第二保持面(21b)相互接近及分离的方式将第一保持部件(2a)及第二保持部件(2b)可移动地支持。第一保持部件(2a)及第二保持部件能够以第一保持面朝向与第一方向相反的第二方向的方式一体地旋转。 | ||
申请公布号 | CN104340661A | 申请公布日期 | 2015.02.11 |
申请号 | CN201410168020.X | 申请日期 | 2014.04.24 |
申请人 | 三星钻石工业股份有限公司 | 发明人 | 吉村浩昭;藤川忍;北原洋志;中石光彦 |
分类号 | B65G47/248(2006.01)I | 主分类号 | B65G47/248(2006.01)I |
代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人 | 沈锦华 |
主权项 | 一种翻转装置,用以使基板翻转,且包括:第一保持部件,具有朝向第一方向的第一保持面;第二保持部件,具有与所述第一保持面对向的第二保持面;支持部件,以所述第一保持面与所述第二保持面相互接近及分离的方式将所述第一保持部件及所述第二保持部件中的至少一个保持部件可移动地支持;及基底部件,以所述第一保持面朝向与所述第一方向相反的第二方向的方式将所述支持部件可旋转地支持。 | ||
地址 | 日本国大阪府 |