一种带有电容测量电路的微机电系统设备驱动器

摘要

本发明公开了一种驱动和电容测量电路，其包括在驱动模式下有选择地在第一节点产生一输出电压以改变一个连接到所述第一节点的并带有可变电容的设备的电容量的电压源，在测量模式下有选择地在所述第一节点提供充放电流中的一个的电流源，以及在测量模式下对所述第一节点上的电压进行采样的电容计算电路，该电路在测量模式下测定所述第一节点的电压变化率并根据测得的电压变化率和充放电流值中的一个计算所述设备的电容量。

主权项

一种驱动和电容测量电路，包括：电压源，其在驱动模式下有选择性地在第一节点上产生一个输出电压以改变一个连接到所述第一节点的并带有可变电容的设备的电容量；电流源，其在测量模式下有选择性地在所述第一节点提供充放电流中的一个；电容计算电路，其在测量模式下在所述第一节点对电压进行采样，确定在测量模式下的第一节点上的电压变化率，并在所述电压变化率和所述充放电流中的所述一个的值的基础上计算所述设备的电容量。