发明名称 |
一种调焦调平信号处理方法 |
摘要 |
一种调焦调平信号处理方法,照明光源产生的照明光束投射到投影狭缝阵列上形成狭缝光束,狭缝光束投射到被测硅片上形成投影光束,经被测硅片反射后通过光学探测结构形成投影光斑,投影光斑入射到探测狭缝阵列上形成探测光斑,探测光斑入射到光电探测器上形成探测信号,光学探测结构包括偏置平板和扫描反射镜,扫描反射镜做简谐振动,该方法包括以下步骤,模数转换单元对探测信号进行模数转换后,结合所述扫描反射镜同步信号存储采样数据;获得采样数据中两个相邻波峰的时间间隔;判断被测硅片是否进入精测范围,如果进入精测范围,根据时间间隔计算出被测硅片的离焦量z;如果没有进入精测范围,重复上述步骤。该方法规避了因硅片面形貌差异导致的测量误差,提升系统的测量精度。 |
申请公布号 |
CN103365099B |
申请公布日期 |
2015.02.11 |
申请号 |
CN201210091294.4 |
申请日期 |
2012.03.31 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
李志丹;潘炼东;邬利挺 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京连和连知识产权代理有限公司 11278 |
代理人 |
王光辉 |
主权项 |
一种调焦调平信号处理方法,照明光源产生的照明光束投射到投影狭缝阵列上形成狭缝光束,所述狭缝光束投射到被测硅片上形成投影光束,经被测硅片反射后通过光学探测结构形成投影光斑,所述投影光斑入射到探测狭缝阵列上形成探测光斑,所述探测光斑入射到光电探测器上形成探测信号,所述光学探测结构包括偏置平板和扫描反射镜,所述扫描反射镜做简谐振动,其特征在于,该方法包括以下步骤:步骤1,模数转换单元对所述探测信号进行模数转换后,结合所述扫描反射镜的同步信号存储采样数据;步骤2,获得所述采样数据中两个相邻波峰的时间间隔;步骤3,判断所述被测硅片是否进入精测范围,如果进入精测范围,根据所述时间间隔计算出所述被测硅片的离焦量z;如果没有进入精测范围,重复步骤2、3;所述两个相邻波峰的时刻为Tc和Td,如果0<|Tc‑Td|<2/T,则表示所述被测硅片进入精测范围,T为所述扫描反射镜做简谐振动的周期;所述离焦量z的计算公式<img file="2012100912944100001dest_path_image002.GIF" wi="92" he="11" />,<img file="2012100912944100001dest_path_image004.GIF" wi="241" he="15" />,其中w表示所述扫描反射镜的角频率,d表示探测狭缝宽度,k为投影光斑偏移量,a为投影光束的入射角;所述投影光斑的宽度等于所述探测狭缝的宽度。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 |