一种三位一体薄膜测试装置

摘要

本实用新型公开了一种拉曼光谱仪、原子力显微镜、表面等离子共振光谱仪三位一体薄膜测试装置及其测试方法，该仪器包括拉曼光谱仪、原子力显微镜、表面等离子共振光谱仪各一台，还包括一样品台，样品台由一矩形玻璃衬底、一半圆棒棱镜和一半透明金属膜组成，半透明金属膜镀在玻璃衬底上侧，半圆棒棱镜的矩形面紧密贴合于玻璃衬底下侧；拉曼光谱仪的光源以及信号采集装置均设置在样品台的上方，表面等离子共振光谱仪的光源设置在样品台的下方，原子力显微镜设置于样品台上方。本实用新型具有以下优点：本实用新型避免了由于大距离移动样品造成的测试误差，克服了拉曼光谱信号太弱的缺点，可以同时获得样品的薄膜厚度、折射率、物质构成和表面形貌等信息。

主权项

一种三位一体薄膜测试装置，包括拉曼光谱仪、原子力显微镜、表面等离子共振光谱仪各一台，其特征在于，还包括一样品台，所述样品台由一矩形玻璃衬底、一半圆棒棱镜和一半透明金属膜组成，半透明金属膜镀在玻璃衬底上侧，半圆棒棱镜的矩形面紧密贴合于玻璃衬底下侧；拉曼光谱仪的光源以及信号采集装置均设置在样品台的上方，表面等离子共振光谱仪的光源设置在样品台的下方，原子力显微镜设置于样品台上方。