| 发明名称 |
等离子体气相沉积用射频电源 |
| 摘要 |
一种等离子体气相沉积用射频电源，包括一变压器，用于将一交流源电压变换成一交流输入电压；一激发单元，用于利用所述交流输入电压产生一正弦波电压；一放大单元，用于放大所述正弦波电压；一自动匹配单元，用于对所述正弦波电压进行负载阻抗匹配，包括：一匹配电容；及一匹配电容传动部件，其中，所述匹配电容传动部件采用齿轮比为(1.5~2.5)：15的齿轮传动部件；及一输出单元，用于将所述正弦波电压输出至一气相沉积设备。本发明结构合理，配匹精度高，片间均匀性得到有效提高。 |
| 申请公布号 |
CN104349568A |
申请公布日期 |
2015.02.11 |
| 申请号 |
CN201310322775.6 |
申请日期 |
2013.07.30 |
| 申请人 |
沙嫣;沙晓林 |
发明人 |
沙嫣;沙晓林 |
| 分类号 |
H05H1/46(2006.01)I |
主分类号 |
H05H1/46(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种等离子体气相沉积用射频电源，包括：一变压器，用于将一交流源电压变换成一交流输入电压；一激发单元，用于利用所述交流输入电压产生一正弦波电压；一放大单元，用于放大所述正弦波电压；一自动匹配单元，用于对所述正弦波电压进行负载阻抗匹配，包括：一匹配电容；及一匹配电容传动部件，其中，所述匹配电容传动部件采用齿轮比为(1.5~2.5)：15的齿轮传动部件；及一输出单元，用于将所述正弦波电压输出至一气相沉积设备并产生辉光放电现象。 |
| 地址 |
200050 上海市长宁区荣华东道128号1704室 |
