| 主权项 |
一种晶圆固持装置，用以固持一晶圆，包括：一主体，支撑该晶圆并具有一碟形，一第一真空管道形成于该主体的一中央部的一上表面，以及一第二真空管道形成于该主体的一边缘部的一上表面；一第一真空源，与该第一真空管道连接以在该第一真空管道中产生一第一真空力，以固持该晶圆的一中央部；一第二真空源，与该第二真空管道连接以在该第二真空管道中产生一第二真空力，以固持该晶圆的其他部份；一控制件，与该第一以及该第二真空源连接，以控制该第一以及该第二真空源的运作，使该第一真空力的产生早于该第二真空力；一第一真空线路，包括复数个第一垂直部以及一第一水平部，其中该第一垂直部由该第一真空管道向下延伸，且该第一水平部在该主体中水平的延伸，以将该等第一垂直部连接至该第一真空源；以及一第二真空线路，包括复数个第二垂直部以及一第二水平部，其中该第二垂直部由该第二真空管道向下延伸，且该第二水平部在该主体中水平的延伸，以将该等第二垂直部连接至该第二真空源。 |
