Vacuum pump stage with special surface roughness yielding a lower gas friction

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpstufe einer Gewinde- oder Seitenkanalpumpe, die einen Stator und wenigstens einen Rotor aufweist, bei der in dem Stator und/oder in dem Rotor wenigstens eine Gewindenut oder bei der in dem Stator wenigstens ein Kanal vorgesehen ist, wobei der Rotor mit einem Rotorabschnitt in den Kanal eintaucht und durch Zusammenwirken von Rotorabschnitt und Kanal eine Pumpwirkung erreicht wird.