用于电子器件的测试装置

主权项

一种晶圆处理装置，其包含有：第一夹持器和第二夹持器，其可移动地装配于转轴上，第一夹持器和第二夹持器中每一个被设置来固定其上装配有晶圆的晶圆载体；以及夹持狭长部，其位于第一夹持器和第二夹持器中的每一个上，该夹持狭长部被用来夹持在晶圆载体上以固定晶圆载体；其中，第一夹持器和第二夹持器被用来在装载位置和晶圆处理位置之间相互反方向地移动晶圆载体，以处理晶圆。