| 主权项 |
一种对准基板结合设备的第一基板与第二基板的方法，所述基板结合设备包含用于对准各自包括多个对准标记的所述第一基板与所述第二基板的对准单元，其特征在于，所述第一基板的所述多个对准标记中的一者与所述第二基板的所述多个对准标记中的对应者被定义成一对对准标记，所述方法包括减少多个未对准值中的最大未对准值以便对准所述第一基板与所述第二基板，每一未对准值是从每一对对准标记获得，其中减少所述最大未对准值包括：在所述第一基板和所述第二基板中的任一者进行虚拟移动的X、Y和θ方向中的每一者上设定虚拟移动算术范围，和通过将所述虚拟移动算术范围划分成若干个区段来设定虚拟移动算术空间。 |
