一种金刚线切割多晶硅片用的冷却液

摘要

本发明提供了一种金刚线切割多晶硅片用的冷却液，所述冷却液包括水和冷却助剂，所述冷却液还包括硬度大于硅的磨料。在金刚线切割多晶硅片时，金刚线不断对多晶硅片进行磨削切割，冷却液中的磨料通过高速运动的金刚线带动对多晶硅片表面进行磨削，从而在多晶硅片表面形成类似采用切割刃料进行多线切割的方法在硅片的表面形成的表面损伤层，有利于多晶硅片的后续制绒，采用现有的制绒工艺能够实现对多晶硅片进行制绒。

主权项

一种金刚线切割多晶硅片用的冷却液，所述冷却液包括水和冷却助剂，其特征在于，所述冷却液还包括硬度大于硅的磨料。