| 发明名称 | 一种调焦调平测量装置 | ||
| 摘要 | 一种用于后道封装光刻机的调焦调平测量装置，该装置具有投影单元和探测单元，其特征在于，在所述投影单元的出光口和所述探测单元的入光口分别具有保护装置，用于防止粉尘或杂物进入投影单元和探测单元。 | ||
| 申请公布号 | CN102789135B | 申请公布日期 | 2015.02.11 |
| 申请号 | CN201110129479.5 | 申请日期 | 2011.05.18 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 章富平;陈飞彪;张冲;李中秋 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I;G01B11/26(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种用于后道封装光刻机的调焦调平测量装置，该调焦调平测量装置具有投影单元和探测单元，其特征在于，在所述投影单元的出光口和所述探测单元的入光口分别具有保护装置，用于防止粉尘或杂物进入投影单元和探测单元，所述保护装置具有镜框和保护玻璃，所述镜框上具有位于后端的球窝和位于所述镜框四周的阵列孔，所述球窝用于前后定位该所述保护装置，所述阵列孔用于滴胶，从而将保护玻璃粘结到所述镜框上。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号 | ||