エッチング液組成物およびこれを用いたウェットエッチング方法

摘要

本発明は、エッチング液組成物に関し、本発明の実施例によるエッチング液組成物は、３〜２０重量％のフッ酸と、５〜４０重量％の硝酸と、１０〜６０重量％の酢酸と、２〜２０重量％の促進剤と、残部の水と、を含み、前記促進剤は、アンモニウム系化合物およびスルホン酸系化合物から選択されるいずれか一つまたは二つ以上の混合物を含むことができる。【選択図】図２