| 摘要 |
<p>Eine Laserbearbeitungsvorrichtung beinhaltet eine Strahlteilereinheit, die zwischen einer Pulslaserstrahl-Oszillationseinheit und einem Kondensor angeordnet ist. Die Strahlteilereinheit beinhaltet eineλ/2-Platte, welche die Polarisationsebene eines gepulsten Laserstrahls dreht, eine doppelbrechende Linse, die den gepulsten Laserstrahl, der durch dieλ/2-Platte getreten ist, in ordentliches Licht und außerordentliches Licht teilt, wobei die doppelbrechende Linse durch Verbinden zweier Arten kristalliner Körper miteinander über eine gekrümmte Ebene einer konkaven Oberfläche und einer konvexen Oberfläche ausgebildet ist, und eine Teilungswinkeleinstelleinheit, welche die doppelbrechende Linse in einer Richtung senkrecht zu dem gepulsten Laserstrahl, der durch dieλ/2-Platte getreten ist, bewegt, um den Einfallswinkel mit Bezug auf die gekrümmte Ebene zu ändern und einen Strahlteilungswinkel einzustellen.</p> |
