发明名称 OPTICAL DEVICE AND LITHOGRAPHY SYSTEM
摘要 <p>Offenbart wird eine optische Vorrichtung (100), aufweisend: ein optisches Element (102), eine Basis (106), ein Tragelement (108), welches das optische Element (102) beabstandet von der Basis (106) trägt, ein Isolationselement (110), welches in einem ersten thermischen Leitungspfad (116) mit einem ersten thermischen Widerstand R1 zwischen dem optischen Element (102) und der Basis (106) zur Reduktion eines Wärmeeintrags in das Tragelement (108) angeordnet ist, wobei das Isolationselement (110) zwischen dem optischen Element (102) und dem Tragelement (108) angeordnet oder in das Tragelement (108) integriert ist und einen höheren thermischen Widerstand als das Tragelement (108) aufweist, eine Wärmesenke (118), und ein thermisches Kopplungsmittel (120), welches in einem zweiten thermischen Leitungspfad (122) mit einem zweiten thermischen Widerstand R2 zwischen dem optischen Element (102) und der Wärmesenke (118) angeordnet ist, wobei der erste und zweite thermische Widerstand R1, R2 derart ausgebildet sind, dass ein Wärmefluss entlang des zweiten thermischen Leitungspfads (122) größer als ein Wärmefluss entlang des ersten thermischen Leitungspfads (116) ist.</p>
申请公布号 WO2015014947(A1) 申请公布日期 2015.02.05
申请号 WO2014EP66516 申请日期 2014.07.31
申请人 CARL ZEISS SMT GMBH 发明人 FIGUEREDO, STACY;LAUFER, TIMO
分类号 G03F7/20;G02B7/02;G02B7/18 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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