| 发明名称 | 单元像素、阵列基板、显示装置及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于显示装置的阵列基板的像素单元，一种实施方式是包括栅线、源漏电极线和TFT，栅线为叠层结构，包括第一MoW层、Cu层和第二MoW层，TFT的栅极由第一MoW层形成。另一实施方式是，源漏电极线为同样的叠层结构，TFT的源漏极采用第一MoW层。本发明可采用半曝光技术实现前一方式，采用剥离技术实现第二方式。本发明能防止栅极或源漏层中的Cu的扩散对氧化物有源层的影响。 | ||
| 申请公布号 | CN104332476A | 申请公布日期 | 2015.02.04 |
| 申请号 | CN201410478300.0 | 申请日期 | 2014.09.18 |
| 申请人 | 京东方科技集团股份有限公司 | 发明人 | 姜春生;方婧斐;张宝江 |
| 分类号 | H01L27/12(2006.01)I;H01L29/49(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 宋焰琴 |
| 主权项 | 一种用于显示装置的阵列基板的像素单元，包括栅线、源漏电极线和TFT，其特征在于：所述栅线为叠层结构，包括自下而上依次叠置的第一MoW层、Cu层和第二MoW层；所述TFT的栅极由所述第一MoW层形成。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 | ||