发明名称 一种可拆卸的活塞环PVD镀膜架
摘要 一种可拆卸的活塞环PVD镀膜架,包括活塞环架和底盘,活塞环架活动设在底盘上;活塞环架包括定位杆、支撑杆,定位杆与支撑杆之间通过调节杆连接;底盘上沿直径方向上设有长条形通孔,支撑杆下端的固定杆穿过通孔。本实用新型适用于不同规格的活塞环装架进行镀膜处理,也可将活塞环架整体取下用于其它活塞环处理作业;简便易行,提高生产效率,降低成本。
申请公布号 CN204138758U 申请公布日期 2015.02.04
申请号 CN201420494585.2 申请日期 2014.08.30
申请人 宜昌后皇真空科技有限公司 发明人 闫少健;韩滨;田灿鑫;付德君
分类号 C23C14/50(2006.01)I 主分类号 C23C14/50(2006.01)I
代理机构 宜昌市三峡专利事务所 42103 代理人 姜荣华
主权项 一种可拆卸的活塞环PVD镀膜架,其特征是:所述镀膜架包括活塞环架和底盘(4),活塞环架活动设在底盘(4)上;所述活塞环架包括定位杆(1)、支撑杆(2),定位杆(1)与支撑杆(2)之间通过调节杆(3)连接;所述底盘上沿直径方向上设有长条形通孔(6),支撑杆(2)下端的固定杆(7)穿过通孔(6)。
地址 443500 湖北省宜昌市长阳创新产业园