用于多晶硅尾气干法回收氢气中再生氢气的系统

摘要

本实用新型提出了一种用于多晶硅尾气干法回收氢气中再生氢气的系统，包括：水冷换热器、气气换热器、深冷器、气液分离器、压缩机和吸附设备，水冷换热器具有冷却水进口、热水出口、再生气进口和第一冷却再生气出口；气气换热器具有冷气进口、热气出口、第一冷却再生气进口和第二冷却再生气出口，第一冷却再生气进口与第一冷却再生气出口相连；深冷器具有R22冷媒进口、R22冷媒出口、第二冷却再生气进口、气液出口，第二冷却再生气进口与第二冷却再生气出口相连；气液分离器具有气液进口、不凝气出口和氯硅烷冷凝液出口，气液进口与气液出口相连；压缩机与不凝气出口相连；以及吸附设备与压缩机相连。由此在保证多晶硅质量的基础上，可以有效地解决氢气的回收利用和环境污染问题，真正实现闭环生产。

主权项

一种用于多晶硅尾气干法回收氢气中再生氢气的系统，其特征在于，包括：水冷换热器，所述水冷换热器具有冷却水进口、热水出口、再生气进口和第一冷却再生气出口；气气换热器，所述气气换热器具有冷气进口、热气出口、第一冷却再生气进口和第二冷却再生气出口，所述第一冷却再生气进口与所述第一冷却再生气出口相连；深冷器，所述深冷器具有R22冷媒进口、R22冷媒出口、第二冷却再生气进口、气液出口，所述第二冷却再生气进口与所述第二冷却再生气出口相连；气液分离器，所述气液分离器具有气液进口、不凝气出口和氯硅烷冷凝液出口，所述气液进口与所述气液出口相连；压缩机，所述压缩机与所述不凝气出口相连；以及吸附设备，所述吸附设备与所述压缩机相连。