一种卧式扩散炉的自动送料装置

摘要

本发明公开了一种卧式扩散炉的自动送料装置，通过升降机构操控悬臂下降，可在推拉舟将悬臂及其装载的晶舟水平送入扩散炉的炉管后，将晶舟卸于炉管内的支撑平台上，使悬臂可退出炉管，只留晶舟单独接受扩散工艺，从而提高了扩散工艺质量和生产效率，并可节约使用维护成本。

主权项

一种卧式扩散炉的自动送料装置，设置在所述扩散炉的炉管外，包括推拉舟、推拉舟前端设有的水平悬臂、推拉舟下方设有的水平滑轨，所述悬臂用于将其装载的晶舟送入和送出所述炉管，其特征在于，还包括设于所述滑轨下方的升降机构，所述升降机构连接所述滑轨，所述推拉舟通过带动所述悬臂将所述晶舟水平送入所述炉管，所述升降机构通过驱动所述滑轨下降，带动所述悬臂下降，将所述晶舟卸在所述炉管底部设有的支撑平台上后水平退出所述炉管，使所述晶舟单独接受扩散工艺，并在扩散工艺完成后，再次将所述晶舟装起水平送出所述炉管。