等离子体加热流化床制备三氯氢硅的装置

摘要

本实用新型涉及一种等离子体加热流化床制备三氯氢硅的装置，包括：流化床反应器（10），流化床反应器（10）内设置有热电阻丝（8），流化床反应器（10）器壁设置有硅粉加料口（11）、温度测控口（12）和压力计（9），流化床反应器（10）底部设置有等离子体枪（3）以及氢气和四氯化硅气体混合器（6），等离子体枪（3）与等离子热源体（2）相连，等离子热源体（2）与等离子电源工作气体入口（1）相连，氢气和四氯化硅气体混合器（6）与氢气入口（4）和汽化器（14）相连，汽化器（14）上设置有四氯化硅入口（5），流化床反应器（10）顶部设置有尾气出口（13）。本实用新型改善流化床反应器内的温度梯度，使流化床反应器内得热场均匀，提供氢等离子体，显著提高四氯化硅转化率、降低能耗。

主权项

一种等离子体加热流化床制备三氯氢硅的装置，其特征在于：所述装置包括：流化床反应器（10），流化床反应器（10）内设置有热电阻丝（8），流化床反应器（10）器壁设置有硅粉加料口（11）、温度测控口（12）和压力计（9），流化床反应器（10）底部设置有等离子体枪（3）以及氢气和四氯化硅气体混合器（6），等离子体枪（3）与等离子热源体（2）相连，等离子热源体（2）与等离子电源工作气体入口（1）相连，氢气和四氯化硅气体混合器（6）与氢气入口（4）和汽化器（14）相连，汽化器（14）上设置有四氯化硅入口（5）、热媒入口（15）和热媒出口（16），流化床反应器（10）顶部设置有尾气出口（13）。