发明名称 一种图案化石墨烯制作方法、阵列基板以及显示装置
摘要 本发明实施例提供了一种图案化石墨烯制作方法、阵列基板以及显示装置,属于电极材料领域,以解决光刻法制作图案化石墨烯时方阻变化较大的问题。所述图案化石墨烯制作方法,包括:将图案化石墨烯置于酸性刻蚀液中浸泡,以降低所述图案化石墨烯的方阻。本发明可用于光刻法制作图案化石墨烯的方法中。
申请公布号 CN104332390A 申请公布日期 2015.02.04
申请号 CN201410433335.2 申请日期 2014.08.28
申请人 京东方科技集团股份有限公司 发明人 吕志军;石岳;邸云萍;惠官宝
分类号 H01L21/02(2006.01)I 主分类号 H01L21/02(2006.01)I
代理机构 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人 申健
主权项 一种图案化石墨烯制作方法,其特征在于,包括:将图案化石墨烯置于酸性刻蚀液中浸泡,以降低浸泡后的所述图案化石墨烯的方阻。
地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号