一种新型靶材压条

摘要

本实用新型公开了一种新型靶材压条，安装于绝缘底座上用于压紧靶材，设所述新型靶材压条上安装后位于外侧且与所述绝缘底座相对的表面为外表面，设所述新型靶材压条上安装后靠近所述靶材的侧面为第一侧面，所述新型靶材压条的外表面与第一侧面之间直接连接且为直角。本实用新型将传统靶材压条的斜面去掉，改为直角，形成本新型靶材压条，从而消除了靶材压条与靶材之间的台阶，可有效防止在磁控溅射靶材过程中产生导电碎屑导致短路，溅射系统在靶材的使用寿命周期内一直能稳定工作。

主权项

一种新型靶材压条，安装于绝缘底座上用于压紧靶材，其特征在于：设所述新型靶材压条上安装后位于外侧且与所述绝缘底座相对的表面为外表面，设所述新型靶材压条上安装后靠近所述靶材的侧面为第一侧面，所述新型靶材压条的外表面与第一侧面之间直接连接且为直角。