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<p>Ein Mikroventil weist einen Grundkörper (34) mit einer Durchlaßöffnung (30), einen Stößel (14), eine Aufhängungsvorrichtung (12), durch die der Stößel (14) gegenüber dem Grundkörper (34) derart führbar ist, daß die Durchlaßöffnung (30) durch den Stößel (14) verschlossen oder freigegeben werden kann, und eine piezoelektrische Betätigungsvorrichtung (10) zur Betätigung des Stößels (14), deren Erstreckung in Längsrichtung durch das Anlegen einer elektrischen Spannung veränderbar ist, auf. In Längsrichtung voneinander beabstandete Enden der piezoelektrischen Betätigungsvorrichtung (10) sind mit in Längsrichtung voneinander beabstandeten Enden der Aufhängungsvorrichtung (12) verbunden. Eine durch das Anlegen einer elektrischen Spannung bewirkte Änderung der Erstreckung der piezoelektrischen Betätigungsvorrichtung (10) in Längsrichtung bewirkt eine um die durch die Aufhängungsvorrichtung (12) bewirkte Hebelwirkung vergrößerte Bewegung des Stößels senkrecht zu der Längsrichtung, um dadurch die Durchlaßöffnung (30) in dem Grundkörper (34) freizugeben oder zu verschließen. Die Aufhängungsvorrichtung (12) ist an zumindest zwei beabstandeten Stellen derselben derart an dem Grundkörper (34) befestigt, daß eine im wesentlichen spannungsfreie Drehbewegung des Stößel-Chips möglich ist.</p> |
