| 发明名称 | 压电膜制造方法、振动片、振子、振荡器、设备和移动体 | ||
| 摘要 | 压电膜制造方法、振动片、振子、振荡器、设备和移动体。与现有的制造方法相比，能够提高作为压电膜的功能，并且能够通过抑制应力迁移来提高压电膜的可靠性。压电膜制造方法包括以下工序：在N<sub>2</sub>气体和Ar气体的混合气氛中，将Al-Cu合金(52)作为成膜材料，使用溅射法形成压电体(13)。 | ||
| 申请公布号 | CN104333338A | 申请公布日期 | 2015.02.04 |
| 申请号 | CN201410347246.6 | 申请日期 | 2014.07.21 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 山崎隆;岩本修 |
| 分类号 | H03H3/02(2006.01)I;H03H9/17(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I | 主分类号 | H03H3/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 李辉;黄纶伟 |
| 主权项 | 一种压电膜制造方法，其特征在于，所述压电膜制造方法包括以下工序：在N<sub>2</sub>气体和Ar气体的混合气氛中，将Al‑Cu合金作为成膜材料，使用溅射法形成压电膜。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||