流体の物理的特性を測定するための方法、デバイス、およびシステム

摘要

本明細書には、１つ以上の時点で流体試料の１つ以上の特性または特性の変化を測定するデバイスが開示されている。デバイスは、流体試料を受け入れて保持するのに好適なデバイスの内部体積を規定するチャンバと；チャンバの下の少なくとも第１の層、チャンバの上の少なくとも第２の層、および第１の層と第２の層との間の基板層を含む複数の層とを含み得る。基板層は、チャンバ内に配置された少なくとも１つの垂下振動要素にリンクされ；垂下要素は、チャンバ内に配置された少なくとも２つのコンプライアント構造によって基板層にリンクされ；垂下要素は、コンプライアント構造のうちの少なくとも２つおよび垂下要素にわたって延びる少なくとも１つの導電路に作動電流を印加すると、振動するように構成されている。関連の方法および使用も開示されている。【選択図】図２ａ