具有斜边之晶圆载体

主权项

一种晶圆载体，其包含一界定一中心轴之主体、一垂直于该中心轴之大体平面之顶面、及凹至该顶面下方用于接纳晶圆之凹穴，该主体包括一在该顶面之周边周围向上突出之唇缘，该唇缘界定一唇缘表面，该唇缘表面在一径向向外远离该中心轴之方向上自该平面顶面向上倾斜，该主体经调适以用于安装于一处理装置之一转轴上，以使得该主体之该中心轴与该转轴同轴。