模板制造装置及模板制造方法

主权项

一种用于制造一模板之装置，其包含：一真空室，其包括一反应气体之一入口及一排气口，该真空室能够维持经减压低于一大气压力之一气氛；一电极，其提供于该真空室之一内部中，将一高频率电压施加至该电极，一基板放置于该电极上，该基板具有该电极之一侧上之一后表面，一凹部提供于该后表面中且系自该后表面之表面凹陷；及一调节器，其经组态以插入至该凹部中，该调节器系绝缘的。