主权项 |
一种涂布方法,系制作所希望之涂布图案,一边使喷嘴与工件进行相对移动,一边将液体材料从喷嘴排出,而对工件涂布规定涂布量之液体材料的涂布方法;其特征在于,其包括有:初期参数设定步骤,将传送排出脉冲信号及暂停脉冲信号的次数规定为总脉冲数,且规定总脉冲数中为了达成涂布量所必要的排出脉冲信号数,而将其余规定为暂停脉冲信号;修正量算出步骤,以预设之修正周期,计测在修正周期时从喷嘴之排出量,并计算出排出量之修正量;及排出量修正步骤,根据在修正量算出步骤所计算出的修正量,调整排出脉冲信号数与暂停脉冲信号数。 |