| 发明名称 | 微机电系统元件及用于其中的防止变形结构及其制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种具有防止变形结构的微机电系统(MEMS)元件，设置于基板上，包含：一动件；以及一防止变形结构，其具有：附着于该基板的一固定栓；多个金属层，其包含一最上层金属层；以及连接该多个金属层的多个金属栓；其中，该最上层金属层由俯视图视之，与该动件具有一部分重叠，且由剖面图视之，该最上层金属层的底表面高于该动件顶表面一限制高度。同时，本发明还提出一种用于微机电系统元件中的防止变形结构，以及一种微机电系统元件的制作方法。 | ||
| 申请公布号 | CN102583217B | 申请公布日期 | 2015.01.28 |
| 申请号 | CN201110008099.6 | 申请日期 | 2011.01.12 |
| 申请人 | 原相科技股份有限公司 | 发明人 | 王传蔚 |
| 分类号 | B81B7/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | B81B7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 陈肖梅;谢丽娜 |
| 主权项 | 一种微机电系统元件，设置于一基板上，包含：一动件；以及一防止变形结构，其特征在于，该防止变形结构具有：附着于该基板的一固定栓；多个金属层，其包含一最上层金属层；以及连接该多个金属层的多个金属栓；其中，该最上层金属层由俯视图视之，与该动件具有一部分重叠，且由剖面图视之，该最上层金属层的底表面高于该动件顶表面一限制高度。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹 | ||