带有磁性转轴轴承的机器人驱动

摘要

一种用于基片传送臂的驱动部分，包括框架，在框架内安装的至少一个定子，该定子包括第一电机部分和至少一个定子轴承部分，和，基本无接触地由该至少一个定子轴承部分以磁力方式支撑的共轴转轴，其轴转轴的每一个驱动轴包括转子，该转子包括第二电机部分和被配置为与该至少一个定子轴承部分相接口的至少一个转子轴承部分，其中该第一电机部分被配置为与该第二电机部分相接口以实现该转轴围绕预定轴线的旋转，并且该至少一个定子轴承部分被配置为通过与该至少一个转子轴承部分交互而至少实现被连接到共轴转轴的基片传送臂端部操纵装置的整平。

主权项

一种用于基片传送臂的驱动部分，包括：框架；在所述框架内安装的至少一个定子，所述定子包括第一电机部分和至少一个定子轴承部分；和基本无接触地由所述至少一个定子轴承部分以磁力方式支撑的共轴转轴，其中所述共轴转轴的每一个驱动轴包括转子，所述转子包括第二电机部分和被配置为与所述至少一个定子轴承部分相接口的至少一个转子轴承部分；其中所述第一电机部分被配置为与所述第二电机部分相接口以实现所述共轴转轴围绕预定旋转轴线的旋转，并且所述至少一个定子轴承部分被配置为至少实现对所述共轴转轴的基本无接触支撑和通过转子与定子之间气隙的改变对连接到所述共轴转轴的基片传送臂端部操纵装置的整平。