| 摘要 |
本发明涉及一种用于微膜泵芯片基本功能单元膜动微阀的驱动装置。由正压组件、负压气体源、通道、正压切换组件、芯片托盘、密封圈、弹性密封帽、传动组件组成。在芯片和托盘间有负压气密空间。芯片托盘上有通道对应微膜泵芯片上膜片位置，并在顶端有弹性密封帽，将通道与气密空间隔开。弹性密封帽放松时，负压力将微膜泵芯片上所有的膜片拉开，实现流体通道的导通或吸入一定量体积的液体；当正压切换组件控制允许正压力组件通过转动组件驱动密封帽，使其受力形变隆起时，微流体芯片上对应的膜片被压紧，实现流体通道阻塞或排出一定量体积的液体。该装置不需要对微流体芯片上每个微膜泵单元建立独立的气动接口，大大降低了泄露导致的系统失效率。 |
