一种微小型惯性测量单元的实现方法

摘要

本发明公开了一种微小型惯性测量单元的实现方法，包括三块LTCC框架基板，分别是X方向基板、Y方向基板和Z方向基板；Y方向基板与X方向基板宽度相同，Y方向基板与Z方向基板长度相同；Y方向基板反面的中间位置设置一条沿宽度方向走向的焊盘；Z方向基板正面制作用于与X、Y方向基板焊接的焊盘；焊接在一起的X方向基板和Y方向基板再焊接至Z方向基板上。采用LTCC工艺制作的基板，既是器件互连电路板又是惯性传感器安装支撑板，省去了传统的金属框架，减小了体积、减轻了重量；信号传输不需要互连导线，器件的组装和系统安装使用回流焊工艺，降低了组装的难度和复杂度，提高了系统的可靠性；芯片集中分布，减小了杆臂效应的影响。

主权项

一种微小型惯性测量单元的实现方法，其特征是，包括三块LTCC工艺制作的框架基板，分别是X方向基板、Y方向基板和Z方向基板；Y方向基板与X方向基板宽度相同，Y方向基板与Z方向基板长度相同；Y方向基板反面的中间位置设置一条沿宽度方向走向的焊盘，用于与X方向基板的焊接，使X方向基板和Y方向基板焊接形成相互垂直的“丁”字形；Z方向基板正面制作用于与X、Y方向基板焊接的焊盘，其中，与Y方向基板相焊接的一排焊盘设置在Z方向基板正面的一条沿长度方向走向的中心线上，而与X方向基板相焊接的另一排焊盘设置在另一条沿宽度方向走向的中心线上；焊接在一起的X方向基板和Y方向基板再焊接至Z方向基板上。