| 摘要 |
<p>본 고안은 식각액 공급관을 따라 이동되는 식각액에 포함되어 있는 기포를 효과적으로 제거하여 식각액 공급의 정량적 신뢰성을 향상시킬 수 있는 기포 제거 장치에 관한 것으로서, 본 고안에 따른 기포 제거 장치는 식각액 공급관의 둘레에 구비되어 기계적 진동을 상기 식각액 공급관에 전달하는 몸체부와, 상기 몸체부 내에 구비되어 기계적 진동을 발생시키는 편심 모터 및 상기 편심 모터의 동작을 제어하는 제어수단을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.</p> |
