PROCEDE DE FORMATION D'UN RESEAU METALLIQUE MULTICOUCHE D'INTERCONNEXION DES COMPOSANTS D'UN CIRCUIT INTEGRE DE HAUTE DENSITE ET CIRCUIT INTEGRE EN RESULTANT

摘要

PROCEDE DE FORMATION D'UN RESEAU METALLIQUE MULTICOUCHE D'INTERCONNEXION DES COMPOSANTS D'UN CIRCUIT INTEGRE DE HAUTE DENSITE ET CIRCUIT INTEGRE EN RESULTANT.AVANT LA FORMATION DE LA COUCHE METALLIQUE SUPERIEURE 25 SUR LA COUCHE DIELECTRIQUE 18 QUI RECOUVRE UNE COUCHE METALLIQUE INFERIEURE 15 INCLUANT DES CONDUCTEURS 16 A FLANCS RAIDES, ON COMBLE APPROXIMATIVEMENT LES CREUX PRESENTS DANS LES INTERVALLES 17 ENTRE LES CONDUCTEURS 16, EN ETALANT UNE SUSPENSION DIELECTRIQUE VISQUEUSE 21 ET EN PROCEDANT AU RECUIT DE LA SUSPENSION, ET ON ELIMINE SENSIBLEMENT AU MOINS LES PARTIES 23 DE LA SUSPENSION RECUITE 22 SITUEES AU-DESSUS DES CONDUCTEURS 16.