| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Membran (26) für einen akustischen Sensor (12, 14) umfassend ein Substrat (34) mit einer Beschichtung (36), die zumindest eine erste und eine zweite Schicht (38, 40) aufweist, wobei die erste Schicht (38) eine anorganische Beschichtung und die zweite Schicht (40) eine organische Beschichtung umfasst. Die Erfindung betrifft zudem einen Ultraschallsensor (12, 14) und ein Verfahren zur Herstellung der Membran (26).</p> |
