用于镀膜制程之气体释出装置

摘要

本发明有关于一种用于镀膜制程之气体释出装置，包含有二相互对接之板件，各板件具有一进气槽，进气槽之顶端形成一进气口，进气槽之底端衔接一第一分配槽，第一分配槽之两端分别衔接一第二分配槽，各第二分配槽之两端分别衔接一第三分配槽，各第三分配槽之两端分别衔接一第四分配槽，各第四分配槽之两端分别衔接一第五分配槽，各第五分配槽之底端形成一排气口。藉此，蒸镀源之气体进入进气槽之后会依序通过各个分配槽，最后再从各排气口释出大致相同的气体量，以提高薄膜厚度的均匀性而提升镀膜制程的品质。

主权项

一种用于镀膜制程之气体释出装置，包含有：二板件，分别具有一顶面、一底面，以及一邻接该顶、底两面之接合侧面，该二板件藉由该二接合侧面相互接合在一起，各该板件之接合侧面具有一进气槽，该进气槽之顶端于该顶面形成一进气口，该进气槽之底端衔接一第一分配槽，该第一分配槽之两端分别衔接一第二分配槽，各该第二分配槽之两端分别衔接一第三分配槽，各该第三分配槽之两端分别衔接一第四分配槽，各该第四分配槽之两端分别衔接一第五分配槽，各该第五分配槽之底端于该底面形成一排气口。