光学式奈米压痕量测装置及其方法

摘要

本发明系关于一种光学式微/奈米压痕与拉伸测试装置及其方法，结合三种试验量测所得之结果，即微/奈米压痕与拉伸测试装置对薄膜式片之量测结果(杨氏模数)、光学方法之形变量测结果(浦松比)与薄膜试片之动态特性量测结果(密度)，将上述三种实验量测结合，即可分别获得薄膜试片之杨氏模数值、浦松比与密度。

主权项

一种光学式奈米压痕量测装置，包含：一机台；一薄膜试片；一振动元件，设于该机台上，该振动元件使该薄膜试片产生振动；一光发射与接收元件，设于该机台上并位于该薄膜试片一侧，量测该薄膜试片之位移量；以及一第一治具，设于该机台上，且可在该机台上移动，该第一治具对该薄膜试片进行压痕，其中该薄膜试片设于该振动元件上方，并于该第一治具与该振动元件之间。