检测装置和检测方法

摘要

本发明公开了一种检测装置和检测方法，其中该检测装置包括：该检测装置包括：密封腔体、气流输出单元和气流检测单元，密封腔体内水平放置有待检测的基板，气流检测单元位于密封腔体内且位于基板的下方，气流输出单元与密封腔体连接，气流输出单元用于向基板的上表面输出检测气流，气流检测单元用于检测基板的下表面是否存在检测气流。本发明的技术方案通过气流输出单元在基板的上表面形成检测气流，同时利用气流检测单元检测基板的下表面是否存在检测气流，并基于气流检测单元的检测结果以实现对基板是否存在破损进行判断。

主权项

一种检测装置，其特征在于，用于对基板破损进行检测，包括：密封腔体，所述密封腔体内水平放置有待检测的所述基板；气流输出单元，所述气流输出单元与所述密封腔体连接，所述气流输出单元用于向所述基板的上表面输出检测气流；气流检测单元，所述气流检测单元位于所述基板的下方，所述气流检测单元用于检测所述基板的下表面是否存在所述检测气流；若所述气流检测单元检测到所述基板的下表面存在所述检测气流时，则判断出所述基板存在破损；若所述气流检测单元检测到所述基板的下表面不存在所述检测气流时，则判断出所述基板不存在破损。