线阵激光相干镜及其制备方法

摘要

线阵激光相干镜及其制备方法属于激光相干耦合技术领域，目的在于解决现有技术存在的线阵激光相干性差、稳定性差、功率低和成本高的问题。本发明的线阵激光相干镜包括交替连接的n个衍射光栅和n+1个光波导，在由衍射光栅和光波导构成的结构两侧，制备波导反射结构。线阵激光相干镜制备方法，首先，由晶体生长法或薄膜制作法制备光波导；其次，在步骤一中制备得到的光波导上采用生长方法或者刻蚀方法制备与实际应用的线阵激光器的间隔和占空比相同的衍射光栅；最后，在最外侧的光波导上通过刻蚀方法制作能够高效反射波导内光学模式的波导反射结构。本发明利用衍射光栅实现光子相互注入和锁相，从而实现光学相干，提高出光亮度并窄化线宽。

主权项

线阵激光相干镜，其特征在于，包括交替连接的n个衍射光栅(1)和n+1个光波导(2)，在由衍射光栅(1)和光波导(2)构成的结构两侧，制备有波导反射结构(3)。