一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门

摘要

本实用新型公开了电感耦合等离子体质谱仪真空阀门，包括：基座，所述基座具有待密封封口，且具有第一腔室及第二腔室；具有前后伸缩部件的动力源装置；滑动系统；封闭装置等;本实用新型采用开合结构，通过开合来实现静态和动态真空，并且开启时，进气量很小，满足检测需要。同时此结构简单，可通过软件控制，运动顺畅，更适合于仪器整体化设计，装配简单，智能化程度高，满足高真空要求等。

主权项

一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门，其特征在于，包括：基座，所述基座具有待密封封口，且具有第一腔室及第二腔室，所述第一腔室一端具有与外界相通的通孔，另一端与所述第二腔室一端联通，所述第二腔室后端与所述待密封封口相通，所述第一腔室与第二腔室及上述带密封封口形成具有前后相通的腔室；提供前后移动动作的动力源装置，包括跟随所述动力源前后运动的伸缩部件，所述动力源装置安装在基座外部；滑动系统，所述滑动系统置于所述第一腔室和所述第二腔室联通形成的腔室内，一端伸出所述第一腔室外与所述伸缩部件相联，跟随所述伸缩前后运动；封闭装置，包括密封圈、密封部件、梯形底座，所述密封部件顶部由容纳所述密封圈的容纳槽，所述容纳槽的深度小于所述密封圈横截面直径的三分之二，大于所述密封圈横截面直径的三分之一，所述密封部件形状与所述待密封封口形状大小一致，所述密封部件一端与所述滑动系统相联，另一端安装有滚轮，所述滚轮与所述梯形底座为滚动接触。