| 主权项 |
1﹒一种双面式压力感测器,包含:暴露于待测量压力之一隔板,用以承受压力;固定于该隔板上时具有一非线性电反应特性之一第一对应变计;及固定于该隔板土时具有一非线性电反应特性之一第二对应变计;第一对应变计与第二对应变计系分别设在隔板之顶面与底面之相同径向位置上,并且分别产生相反形式之压缩或拉伸之应变,使其输出信号具有大小相同,正负号相反之非线性部份。2﹒依申请专利范围第1项之双面式压力感测器,其中该第一对应变计在靠近该隔板中央之一选择径向位置定位于该隔板之一顶面上,且该第二对应变计实质上在该选择径向位置定于该隔板之一底面上。3﹒依申请专利范围第1项之双面式压力感测器,其中该第一对应变计在靠近该隔板外缘之一选择径向位置定位于该隔板之一顶面上,且该第二对应变计实质上在该选择径向位置定位于该隔板之一底面上。4﹒依申请专利范围第1项之双面式压力感测器,其中该第一与第二对应变计实质上互相对正,且具有相等面积,该第一对应变计定位于该隔板之一顶面上,该第二对应变计定位于该隔板之一底面上。5﹒依申请专利范围第1项之双面式压力感测器,其中该等应变计系选自于自薄膜应变计、结合箔应变计、半导体计及厚膜计所组成群类之应变敏感元件。图示简单说明图一系习知电容式感测器之示意图,包含有三隔板。图二系习知应变计梁式感测器之示意图。图三系习知平板式感测器之顶视图,在隔板之一面上设有连接成惠斯登电桥型式之应变计。图四系设于隔板上厚薄式应变计之输入与输出对照表,显示这种应变计之非线性反应。图五系平板之径向与整体偏移时在各百分比下之对照表,显示切线应变及径向应变图六系平板之径向与微应变在各百分比下之对照表,显示平板顶面及底面之径向应变与切线应变之应变分布情形。图七系单面式感应计之整体与偏移在各百分比下之对照表,显示平板式感测器之非线性,其中之感应计可定位于感测器之中间或接近外围。图八(a)系本创作所提供压力感测器之侧视图,在隔板之顶面与底面接近中间部份均设有应变计。图八(b)系图八(a)之顶视图。图八(c)系图八(a)之底视图。图九系图八(a)-(c)所示之压力感测器其整体与偏移在各百分比下之对照表。图十(a)本创作所提供之压力感测器之侧视图,在隔板之顶面与底面接近外围部份均设有应变计。图十(b)系图十(a)之顶视图。图十(c)系图十(a)之底视图。图十一系图十(a)、(c)所示之压力感测器其整体与偏移在各百分比下之对照表。 |
